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聚焦電子科大國(guó)家集成電路產(chǎn)教融合創(chuàng)新平臺(tái):國(guó)產(chǎn)電鏡深耕“芯”高地

更新時(shí)間:2026-08-06      點(diǎn)擊次數(shù):238

國(guó)儀量子電鏡采用簡(jiǎn)化設(shè)計(jì),配備直觀的中文操作界面和適合國(guó)內(nèi)科研人員的操作習(xí)慣,有效降低了學(xué)生學(xué)習(xí)難度,減少了操作錯(cuò)誤。學(xué)生們更愿意嘗試,學(xué)習(xí)效率顯著提升。

——電子科技大學(xué)集成電路產(chǎn)教融合創(chuàng)新平臺(tái)的涂小明博士

近期,在電子科技大學(xué)國(guó)家集成電路產(chǎn)教融合創(chuàng)新平臺(tái),涂小明博士負(fù)責(zé)管理多臺(tái)國(guó)產(chǎn)和進(jìn)口電鏡設(shè)備,他對(duì)國(guó)儀量子的SEM5000X場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡及DB550雙束電鏡表示了極大的認(rèn)可。

作為全國(guó)獲得批準(zhǔn)建設(shè)的集成電路產(chǎn)教融合創(chuàng)新平臺(tái)之一,電子科技大學(xué)國(guó)家集成電路產(chǎn)教融合創(chuàng)新平臺(tái)由國(guó)家發(fā)展和改革委員會(huì)及教育部于2021年共同批準(zhǔn)成立,屬于項(xiàng)目。該平臺(tái)總投資額超過2.5億元,包含集成電路設(shè)計(jì)、前端工藝和封裝測(cè)試三個(gè)主要子平臺(tái),并構(gòu)建了一條能夠兼容6至8英寸的完整集成電路生產(chǎn)線,擁有0.18微米及以上的晶圓級(jí)加工和測(cè)試技術(shù)。目前,平臺(tái)配備了超過150套微納制造、芯片封裝和測(cè)量設(shè)備,無論是在規(guī)模、功能還是產(chǎn)業(yè)鏈的完整性方面,都被認(rèn)為是西南地區(qū)高校中規(guī)模、功能全面、產(chǎn)業(yè)鏈的集成電路公共平臺(tái)。

作為對(duì)公眾開放的平臺(tái),維持高效穩(wěn)定的芯片微觀特征描述和分析工具是極為關(guān)鍵的。國(guó)儀量子公司提供的兩款國(guó)產(chǎn)電子顯微鏡——SEM5000X和DB550,發(fā)揮著它們?cè)谠擃I(lǐng)域中不可替代的作用。

精確穩(wěn)定:芯片精細(xì)制造的“明察秋毫

在西南地區(qū),集成電路領(lǐng)域的專業(yè)化平臺(tái)中,對(duì)微觀形態(tài)特征的描述和測(cè)量有著極大的需求。"涂小明博士指出,這兩臺(tái)儀器在芯片的微納制造過程中扮演著核心角色,它們主要負(fù)責(zé)觀察芯片的形態(tài)、測(cè)量尺寸,以及進(jìn)行截面分析等重要任務(wù)。

SEM5000X由國(guó)儀量子自主研發(fā),是一款高分辨率場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡。在頻繁使用中,SEM5000X顯示出的穩(wěn)定性,能夠迅速完成復(fù)雜的形貌觀察和納米級(jí)尺寸測(cè)量工作。DB550雙束電鏡專注于精密截面分析,其自主研發(fā)的場(chǎng)發(fā)射電子鏡筒和“承影"離子鏡筒,確保了的納米加工和分析效率,對(duì)平臺(tái)的高效運(yùn)作發(fā)揮了關(guān)鍵作用。

涂小明表示:“在頻繁使用中,SEM5000X在精確測(cè)量尺寸和觀察微觀結(jié)構(gòu)方面顯示出了的穩(wěn)定性;DB550雙束電鏡在精密截面分析方面的高效性能,對(duì)于平臺(tái)的順暢運(yùn)作極為關(guān)鍵。

中文界面:簡(jiǎn)化操作流程,鼓勵(lì)學(xué)生主動(dòng)實(shí)踐

集成電路產(chǎn)業(yè)中,杰出人才是推動(dòng)進(jìn)步的關(guān)鍵因素。該平臺(tái)承擔(dān)著培養(yǎng)大量急需人才的重要任務(wù)。

盡管掃描電鏡和FIB都是精密且價(jià)值不菲的科研工具,但過去在使用這些國(guó)外設(shè)備時(shí),其操作流程的復(fù)雜性和英文界面常常使得初學(xué)者感到心理壓力,產(chǎn)生了害怕嘗試的心態(tài)。

隨著國(guó)儀量子SEM5000X和DB550的引入,原先的復(fù)雜狀況得到了顯著的改觀。這些國(guó)產(chǎn)電鏡通過簡(jiǎn)化操作流程,提供了直觀且易于理解的中文界面,以及與中國(guó)科研人員的操作習(xí)慣高度契合的邏輯,極大地降低了學(xué)生掌握這些設(shè)備所需的難度。

國(guó)儀量子的電鏡產(chǎn)品通過簡(jiǎn)化操作流程,配備直觀的中文界面和適應(yīng)國(guó)內(nèi)科研人員的操作習(xí)慣,顯著降低了學(xué)生使用的技術(shù)障礙,減少了操作失誤的可能性。學(xué)生們因此更愿意親自操作,學(xué)習(xí)進(jìn)度加快,同時(shí)設(shè)備的安全性也得到了提升。這對(duì)于大學(xué)在教學(xué)和科研方面的工作提供了極大的助力。學(xué)生們克服了對(duì)這些高價(jià)值設(shè)備的恐懼,開始勇于進(jìn)行探索。涂小明博士對(duì)此表示了極大的興奮,并進(jìn)行了總結(jié)。

勇于實(shí)踐,是提升實(shí)驗(yàn)教學(xué)質(zhì)量和推動(dòng)科研創(chuàng)新的關(guān)鍵起點(diǎn)。國(guó)產(chǎn)電鏡的發(fā)展,正逐步引導(dǎo)高校在培養(yǎng)學(xué)生方面實(shí)現(xiàn)從“基本操作"到“熟練運(yùn)用、有效應(yīng)用"的轉(zhuǎn)變。

服務(wù)承諾:24小時(shí)在線響應(yīng),“隨時(shí)待命,確保支持

對(duì)于肩負(fù)重任的大型公共實(shí)驗(yàn)平臺(tái)而言,優(yōu)質(zhì)的售后服務(wù)與技術(shù)支撐是確保平臺(tái)順暢運(yùn)作的核心要素。

國(guó)儀量子的售后支持團(tuán)隊(duì),給涂小明博士留下了超出預(yù)期的深刻印象。

在設(shè)備管理過程中,遇到技術(shù)難題是常有的事。涂小明老師回憶說:“在操作過程中,我遇到了幾次小問題,便馬上聯(lián)系了國(guó)儀量子的售后服務(wù)人員曹工。每次我提出問題后,曹工都能迅速回應(yīng),并提供有效的解決方案,確保了服務(wù)的連續(xù)性和及時(shí)性。"他對(duì)這種高效的響應(yīng)表示了高度的贊賞。

他提到,能夠隨時(shí)獲得技術(shù)支持所帶來的信心,是許多外國(guó)設(shè)備制造商難以匹敵的?!皟?yōu)質(zhì)的售后服務(wù)和迅速的響應(yīng)速度,確保了我們科研工作的連續(xù)性,為儀器操作者提供了極大的心理安慰。

國(guó)儀量子堅(jiān)守“全心全意,為客戶創(chuàng)造價(jià)值"的服務(wù)宗旨,努力將的服務(wù)送達(dá)科研。眾多高校的實(shí)際應(yīng)用案例中,都能看到國(guó)儀量子的服務(wù)團(tuán)隊(duì)親臨實(shí)驗(yàn)室現(xiàn)場(chǎng),從設(shè)備的安裝調(diào)試到全面的技術(shù)培訓(xùn),再到日常的維護(hù)和專業(yè)的技術(shù)援助,他們提供的服務(wù)獲得了科研工作者的普遍認(rèn)可。

希望國(guó)產(chǎn)電子顯微鏡能成為科研工作者深入觀察微觀世界的利器,促進(jìn)原創(chuàng)性研究,助力中國(guó)科學(xué)研究的進(jìn)步。"在訪談接近尾聲時(shí),涂小明博士滿懷深情地表達(dá)了對(duì)國(guó)產(chǎn)電子顯微鏡的美好愿景。

電子科技大學(xué)國(guó)家集成電路產(chǎn)教融合創(chuàng)新平臺(tái)憑借深厚的研發(fā)基礎(chǔ)、先進(jìn)的實(shí)驗(yàn)設(shè)施以及對(duì)國(guó)產(chǎn)科學(xué)儀器的大力支持,充分展現(xiàn)了其在服務(wù)國(guó)家芯片戰(zhàn)略和集成電路產(chǎn)業(yè)深度融合中的重要角色。

在集成電路創(chuàng)新的征途上,國(guó)儀量子的SEM5000X和DB550雙束電鏡展現(xiàn)了國(guó)產(chǎn)精密測(cè)量設(shè)備與科研儀器的強(qiáng)勁競(jìng)爭(zhēng)力。它們不僅以的性能贏得了認(rèn)可,還通過提供優(yōu)質(zhì)的用戶體驗(yàn),促進(jìn)了高等教育機(jī)構(gòu)在集成電路領(lǐng)域的創(chuàng)新能力,樹立了校企合作和產(chǎn)教結(jié)合的成功案例。

展望未來,國(guó)儀量子將不斷深化對(duì)用戶需求的理解,憑借先進(jìn)的技術(shù)和周到的服務(wù),助力科研人員深入微觀世界、拓展知識(shí)邊界,為國(guó)內(nèi)芯片研究和教育事業(yè)注入國(guó)產(chǎn)創(chuàng)新的動(dòng)力。

半導(dǎo)體集成電路領(lǐng)域,優(yōu)秀人才是發(fā)展的核心驅(qū)動(dòng)力。平臺(tái)肩負(fù)著為國(guó)家培養(yǎng)大批緊缺人才的核心使命。

 

然而,不管是掃描電鏡還是FIB,都屬于極為精密且昂貴的儀器。此前操作進(jìn)口設(shè)備時(shí),復(fù)雜的操作邏輯和全英文的界面,往往給剛開始接觸的學(xué)生帶來較大的心理負(fù)擔(dān)和“不敢上手"的畏難情緒。

 

但這樣的情況在引入國(guó)儀量子SEM5000X和DB550后,得到了根本性改善。國(guó)產(chǎn)電鏡“去繁就簡(jiǎn)",簡(jiǎn)潔直觀的全中文界面以及符合中國(guó)科研人員使用習(xí)慣的操作邏輯,大大降低了學(xué)生的學(xué)習(xí)門檻。

 

“國(guó)儀量子電鏡‘去繁就簡(jiǎn)’,簡(jiǎn)潔的全中文界面和符合中國(guó)科研人員的交互邏輯,大大降低了學(xué)生的學(xué)習(xí)門檻,有效地避免了誤操作。學(xué)生敢上手了,學(xué)得快了,設(shè)備安全也更有保障了,這對(duì)于高校開展教學(xué)和科研工作來說,幫助很大。學(xué)生不再畏懼操作這些昂貴的‘重器’,敢于去探索。"涂小明博士興奮地總結(jié)道。

 

畢竟,敢于上手,才是高質(zhì)量實(shí)驗(yàn)教學(xué)和科研創(chuàng)新的較早步。從“能用"到“好用、會(huì)用、善用",國(guó)產(chǎn)電鏡正在改變高校的人才培養(yǎng)方式。

 

服務(wù)保障:全天候在線,“隨時(shí)隨地有人支持"

 

對(duì)于承擔(dān)著高強(qiáng)度實(shí)驗(yàn)任務(wù)的大型公共實(shí)驗(yàn)平臺(tái)來說,的售后服務(wù)和技術(shù)支持,是保障平臺(tái)平穩(wěn)高效運(yùn)行的關(guān)鍵所在。

 

國(guó)儀量子的售后服務(wù)團(tuán)隊(duì),在這一點(diǎn)上給涂小明博士留下了遠(yuǎn)超預(yù)期的深刻印象。

 

“管理設(shè)備中,遇到突發(fā)技術(shù)問題是很正常的情況。有幾次在操作中遇到了一點(diǎn)小狀況,我立刻聯(lián)系了國(guó)儀量子售后工程師曹工。好幾次剛把問題發(fā)出去,曹工立刻就進(jìn)行了回復(fù),直接給出了解決的辦法,確實(shí)做到了全天候在線服務(wù)!"涂小明老師稱贊道。

 

他也指出,這種隨時(shí)隨地有技術(shù)后盾支撐的安心感,是很多進(jìn)口儀器廠商很難企及的?!笆酆蠓?wù)好、響應(yīng)極其及時(shí),保障了我們平臺(tái)科研進(jìn)度的順利推進(jìn),讓儀器使用者非常安心。"

 

國(guó)儀量子秉持“鏡心鏡意,成就客戶"的服務(wù)理念,致力于把優(yōu)質(zhì)服務(wù)送至科研一線。在許多高校案例中均可見其服務(wù)團(tuán)隊(duì)深入實(shí)驗(yàn)室,開展從設(shè)備交付到深度培訓(xùn)、從日常運(yùn)維到技術(shù)支持的保障工作,贏得了用戶的廣泛認(rèn)同。

 

“愿國(guó)產(chǎn)電鏡成為科研人員探索微觀世界的銳利之眼,助力自主創(chuàng)新,推動(dòng)中國(guó)科研前行。"采訪的最后,涂小明博士動(dòng)情地送上了對(duì)國(guó)產(chǎn)電鏡的祝福。

 

 

電子科技大學(xué)國(guó)家集成電路產(chǎn)教融合創(chuàng)新平臺(tái)以的研發(fā)積淀、的實(shí)驗(yàn)環(huán)境和對(duì)國(guó)產(chǎn)科學(xué)儀器的積極扶持,生動(dòng)詮釋了服務(wù)國(guó)家芯片戰(zhàn)略與集成電路產(chǎn)業(yè)深度融合的使命擔(dān)當(dāng)。

 

而在這一進(jìn)程中,國(guó)儀量子SEM5000X與DB550雙束電鏡的出色表現(xiàn),不僅證明了國(guó)產(chǎn)量子精密測(cè)量與科學(xué)儀器的硬核實(shí)力,更通過以服務(wù)育人為本的體驗(yàn),為推動(dòng)高校集成電路的可持續(xù)創(chuàng)新,打造了校企合作、產(chǎn)教融合的生動(dòng)范本。

 

未來,國(guó)儀量子將繼續(xù)深耕用戶需求,以更專業(yè)的技術(shù)、更貼心的服務(wù),陪伴每一位科研工作者探索微觀、突破邊界,為中國(guó)的芯片科研和人才培養(yǎng)注入來自國(guó)產(chǎn)自主創(chuàng)新的澎湃動(dòng)能。