杭州電子科技大學(xué)：國產(chǎn)雙束電鏡助力打造科研育人新范式

 此次平臺建設(shè)中，我們明確選用國產(chǎn)FIB（國儀量子DB550）設(shè)備。這一決策不僅響應(yīng)了國家科技自立自強(qiáng)的號召，也將在實(shí)際應(yīng)用中驗(yàn)證國產(chǎn)設(shè)備的技術(shù)實(shí)力。

——杭州電子科技大學(xué)電子信息大儀中心主任兼掃描電鏡技術(shù)聯(lián)合實(shí)驗(yàn)室負(fù)責(zé)人 鄭雪峰

在國家科技自立自強(qiáng)的時代背景下，越來越多的頂尖高校開始將目光投向國產(chǎn)科學(xué)儀器。在電子信息與集成電路領(lǐng)域，杭州電子科技大學(xué)（以下簡稱“杭電"）具有鮮明的學(xué)科特色和科研實(shí)力。2025年，杭電電子信息大儀中心引入國儀量子自主研發(fā)的聚焦離子束電子束雙束顯微鏡（DB550），成功構(gòu)建掃描電鏡技術(shù)聯(lián)合實(shí)驗(yàn)室，為學(xué)校科研創(chuàng)新、人才培養(yǎng)及儀器市場化運(yùn)營注入強(qiáng)勁動力。這一合作不僅彰顯了杭電在科研平臺建設(shè)中的前瞻視野，也展現(xiàn)了國儀量子在技術(shù)與服務(wù)上的實(shí)力。

01  整合資源，打造微納研究完整鏈條

杭電電子信息大儀中心是學(xué)校支撐電子信息特色專業(yè)高質(zhì)量發(fā)展的核心平臺，擁有103臺大型儀器設(shè)備，分布于三個校區(qū)47個實(shí)驗(yàn)室，總面積近5000平方米。中心近三年支持32項(xiàng)重大重點(diǎn)項(xiàng)目，助力團(tuán)隊(duì)發(fā)表30余篇國際頂刊論文，其中“大數(shù)據(jù)存儲硬盤陣列核心技術(shù)研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化"項(xiàng)目榮獲浙江省科技進(jìn)步獎一等獎。為進(jìn)一步提升微納領(lǐng)域科研能力，中心建設(shè)了掃描電鏡技術(shù)聯(lián)合實(shí)驗(yàn)室。

中心主任兼實(shí)驗(yàn)室負(fù)責(zé)人鄭雪峰高級實(shí)驗(yàn)師介紹：“我們希望整合學(xué)校現(xiàn)有科研資源，構(gòu)建從微觀觀測到微納米加工的完整研究鏈條。國儀量子雙束電鏡DB550的引入，補(bǔ)全了掃描電鏡、透射電鏡、雙束電鏡‘三鏡’體系的最后一塊拼圖，為集成電路、智能傳感、半導(dǎo)體材料與器件等領(lǐng)域的全流程研究提供了支撐。"

02  掃描電鏡聯(lián)合實(shí)驗(yàn)室，科研與人才培養(yǎng)雙輪驅(qū)動 

作為電子信息大儀中心的重要組成，掃描電鏡技術(shù)聯(lián)合實(shí)驗(yàn)室規(guī)劃了明確的科研與人才培養(yǎng)目標(biāo)。在科研方面，實(shí)驗(yàn)室聚焦材料微結(jié)構(gòu)分析、芯片失效診斷及微納加工制造，滿足多領(lǐng)域綜合性需求。

在人才培養(yǎng)方面，杭電設(shè)計(jì)了“理論-實(shí)操-科研應(yīng)用"的閉環(huán)培養(yǎng)體系。鄭雪峰主任介紹：“本科生從基礎(chǔ)SEM操作入手，優(yōu)秀者參與FIB專項(xiàng)培訓(xùn)；研究生則將FIB操作作為技能，提升綜合實(shí)驗(yàn)?zāi)芰ΑB550兼具觀察與加工功能，是培養(yǎng)學(xué)生儀器操作能力的理想平臺。"

03  國產(chǎn)選擇，助力科技自立自強(qiáng)

在實(shí)驗(yàn)室建設(shè)中，杭電明確選擇國產(chǎn)設(shè)備，響應(yīng)國家科技自立自強(qiáng)的號召。鄭雪峰主任表示：“以往依賴進(jìn)口設(shè)備，存在價格高、維修慢，一旦損壞就會癱瘓等諸多痛點(diǎn)。選擇國儀量子DB550，不僅是支持國產(chǎn)儀器，更是對其技術(shù)實(shí)力的信任。"驗(yàn)收實(shí)測數(shù)據(jù)表明，DB550多項(xiàng)性能指標(biāo)優(yōu)于合同約定，充分驗(yàn)證了國產(chǎn)雙束電鏡的可靠性與先進(jìn)性。

04  操作便捷，性能穩(wěn)定，科研效率倍增

國儀量子DB550以其性能與用戶友好的設(shè)計(jì)，贏得了杭電師生的高度認(rèn)可。電子信息大儀中心的吳飛妹老師分享使用體驗(yàn)時表示：“DB550的中文操作界面布局合理，功能分區(qū)清晰，操作如同使用智能手機(jī)般直觀。其導(dǎo)航功能精準(zhǔn)便捷，樣品定位高效；自動亮度對比度調(diào)節(jié)、自動聚焦和自動像散等功能，讓設(shè)備能一鍵優(yōu)化成像狀態(tài)，極大提升科研效率，尤其對學(xué)生等新手用戶極為友好。"更令人印象深刻的是，DB550在連續(xù)72小時運(yùn)行后，成像依然清晰穩(wěn)定，分辨率始終保持高水平，展現(xiàn)了出色的穩(wěn)定性。

05  全流程服務(wù)，超預(yù)期體驗(yàn)

國儀量子不僅提供高性能設(shè)備，更以專業(yè)服務(wù)為客戶創(chuàng)造附加價值。從設(shè)備選址到安裝調(diào)試，國儀量子工程師團(tuán)隊(duì)展現(xiàn)了超乎職責(zé)的敬業(yè)精神。鄭雪峰主任回憶：“選址階段，國儀工程師多次赴校檢測振動、電磁干擾等環(huán)境因素，提供詳盡報告與解決方案。安裝過程中，工程師全程參與，確保設(shè)備平穩(wěn)落地。培訓(xùn)階段，國儀提供一對一指導(dǎo)，針對我們的需求量身定制課程，深受師生好評。"這種“超預(yù)期"的服務(wù)理念，讓杭電師生感受到國儀量子的專業(yè)與用心。

談及掃描電鏡技術(shù)聯(lián)合實(shí)驗(yàn)室的未來，鄭雪峰主任表示，在國家倡導(dǎo)科研資源開放共享的背景下，杭電計(jì)劃以DB550為依托，探索儀器市場化運(yùn)營。“FIB設(shè)備應(yīng)用場景廣泛，涵蓋半導(dǎo)體失效分析、納米器件制備等領(lǐng)域。通過規(guī)范化的對外服務(wù)，實(shí)驗(yàn)室不僅能覆蓋設(shè)備維護(hù)與運(yùn)營成本，還能擴(kuò)大平臺影響力，形成‘以機(jī)養(yǎng)機(jī)’的良性循環(huán)，為高校儀器市場化提供參考。"